Metoda de fabricație a dispozitivului MEMS

domeniul tehnic

1. Prezenta dezvăluire se referă la un dispozitiv mems cu distribuţie îmbunătăţită a tensiunii.

Tehnica de fundal:

2. După cum este bine cunoscut, dispozitivele electronice mems ("Micro Electro Mechanical Systems"), cum ar fi actuatoarele și/sau senzorii, sunt în mod obișnuit formate pe un substrat care adăpostește o cavitate și includ structuri mobile suspendate de cavitatea de deasupra și limitate de elasticul. element la zona fixă. Substratul, structura mobilă și elementul elastic pot fi integrale și sunt în mod obișnuit formate dintr-un material semiconductor cum ar fi siliciul.

3. Aceste dispozitive electronice mai includ: una sau mai multe structuri de acţionare şi/sau detecţie, cuplate la structura mobilă; şi circuite electrice de comandă, integrate în acelaşi substrat sau formate în substraturi diferite şi cuplarea la structura de acţionare şi/sau detecţie poate furniza semnale electrice de acţionare structurii de acţionare şi/sau recepţiona semnale electrice de detecţie de la structura de detecţie.

4. În detaliu, structura de acţionare poate provoca deplasarea, de exemplu, rotaţia, a structurii mobile atunci când este controlată de un semnal electric de acţionare corespunzător. În mod similar, structura de detectare este configurată pentru a genera semnale electrice corespunzătoare care sunt o funcție de condițiile de funcționare ale structurii mobile și, de exemplu, o funcție a domeniului de rotație al structurii mobile.

5. Circuitul electric de comandă și structura de acționare și/sau detecție sunt de obicei conectate electric între ele prin piste conductoare, de exemplu formate dintr-un stivă de straturi conductoare.

6. Șinele conductoare se extind în general peste zone fixe, elemente elastice și uneori parțial peste structuri mobile.

7. În timpul utilizării, deplasarea structurii mobile are ca rezultat deformarea, de exemplu răsucirea, a elementelor elastice care limitează structura mobilă la zona fixă.

Contactaţi-ne:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894