Dispozitiv microelectromecanic și metoda lui de fabricație și elemente tehnice de realizare

Elemente tehnice de implementare:

4. Având în vedere problemele de mai sus, se propune prezenta invenţie. Prezenta invenție oferă o nouă structură a dispozitivului mems, care poate evita utilizarea grinzilor în consolă, are o durabilitate mai mare și are o structură mai simplă. Prezenta invenţie oferă, de asemenea, o nouă metodă de fabricare a dispozitivului mems, care are etape de proces simple şi poate îmbunătăţi randamentul de fabricaţie.

5. Conform unui exemplu de realizare, un dispozitiv microelectromecanic poate cuprinde: un substrat izolator; un stâlp de susţinere dispus pe substrat, stâlpul de susţinere susţinând o masă de rezistenţă; înconjurând substratul pe substrat Una sau mai multe perechi de plăci de electrozi dispuse pe blocul de masă, fiecare pereche de plăci de electrozi este dispusă pe laturile opuse ale blocului de masă; și o placă de acoperire izolatoare, pe care este dispusă o pereche de plăci de electrozi corespunzătoare uneia sau mai multor perechi de plăci de electrozi sau mai multe perechi de electrozi, atunci când placa de acoperire acoperă una sau mai multe perechi de plăci de electrozi, una sau mai multe perechi de electrozi sunt respectiv în contact electric cu una sau mai multe perechi de plăci de electrozi.

6. În unele exemple de realizare, stâlpul de susținere, masa de rezistență și una sau mai multe perechi de plăci de electrozi sunt formate dintr-un material conductor sau semiconductor, iar conductoarele conectate la stâlpul suport sunt conectate dintr-o parte a substratului. Ieșire, conductoarele conductoare conectate la una sau mai multe perechi de electrozi sunt conduse afară dintr-o parte a plăcii de acoperire.

7. în unele exemple de realizare, placa de acoperire este formată cu o deschidere între una sau mai multe perechi de electrozi pentru a expune stâlpul suport și masa de rezistență.

8. în unele exemple de realizare, înălţimea masei de control este mai mică decât înălţimea uneia sau mai multor perechi de plăci de electrozi.

9. în unele exemple de realizare, dispozitivul microelectromecanic este utilizat ca accelerometru şi una sau mai multe perechi de plăci de electrozi sunt utilizate pentru a măsura modificările capacităţii datorate schimbărilor în poziţia masei de proba.

10. În unele exemple de realizare, dispozitivul microelectromecanic este utilizat ca giroscop, iar una sau mai multe perechi de plăci cu electrozi includ cel puțin o primă pereche de plăci cu electrozi și o a doua pereche de plăci cu electrozi, prima pereche de plăci cu electrozi pentru unitatea A. semnalul este aplicat pentru a determina masa de control să oscileze între prima pereche de plăci de electrozi, iar a doua pereche de plăci de electrozi este utilizată pentru a măsura modificările capacității datorate modificărilor poziției masei de verificare.

Contactaţi-ne:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894