Metodă pentru producerea unei componente micromecanice pentru un dispozitiv senzor sau un dispozitiv microfon

Elemente tehnice de implementare:

3. Prezenta invenţie propune o componentă micromecanică pentru un dispozitiv senzor sau un dispozitiv microfon cu caracteristicile revendicării 1, şi o metodă de producere a unei componente micromecanice pentru un dispozitiv senzor sau un dispozitiv microfon cu caracteristicile revendicării 5.

4. Avantajele inventiei

5. Construcția conform invenției bazată pe cel puțin un strat de sacrificiu din cel puțin un material de strat sacrificial izolant electric al componentei micromecanice propuse de invenție și același Configurația conform invenției a cel puțin unei zone izolatoare realizate din cel puțin un material electric izolant al materialului stratului de sacrificiu izolator, pentru a configura cavitatea componentei micromecanice, poate fi efectuat un proces adecvat pentru îndepărtarea parțială a cel puțin un strat de sacrificiu fără a fi nevoie să vă faceți griji cu privire la deteriorarea sau îndepărtarea. cel puțin o zonă de izolație. Invenţia face astfel simplă echiparea componentului micromecanic corespunzător conform invenţiei cu cel puţin o zonă izolatoare care este avantajos adecvată pentru izolarea electrică a structurii electrodului de membrană, între stratul de material membranar şi stratul de material electrod. izolarea electrică și/sau separarea a cel puțin unei regiuni reziduale a cel puțin unui strat de sacrificiu de cavitate. Invenţia îmbunătăţeşte astfel componenta micromecanică conform invenţiei în comparaţie cu stadiul tehnicii şi contribuie suplimentar la reducerea costurilor cu forţa de muncă şi a componentului micromecanic conform invenţiei pentru producerea componentului micromecanic conform invenţiei la costul de fabricaţie.

6. Cel puţin o regiune izolatoare pentru separarea celei puţine regiuni reziduale a cel puţin unui strat de sacrificiu poate acţiona în special ca o "protecţie împotriva gravării" împotriva gravării nedorite a celei puţine regiuni reziduale în timpul construcţiei cavităţii. În acelaşi timp, se realizează cel puţin o zonă izolatoare construită din cel puţin un material izolator electric pentru separarea a cel puţin o zonă reziduală.

Contactaţi-ne:

Email: zhang@pride-cnc.com

Tel: plus 86-755-23699351

Mob: plus 8618666663894